【摘要】本實用新型涉及一種超純氫發生器，屬于相色譜 儀配套的氣源裝置，它主要是采用以特級石棉纖維氫 氧隔離膜作電解質載體并隔離陽極側和陰極側的電 解分離池，并裝有凈化筒、干燥筒、催化筒。電解分離 池由陽電極，陽極鎳絲網，耐腐蝕材料制成的絕緣
【摘要】 微信公眾號馬克 數據網 微波等離子體的產生方法和裝置。涉及到微波 產生低溫等離子體的技術，適用于薄膜加工和材料處 理等。本發明在等離子體反應室和諧振腔外設置一 對稀土永磁鐵，在等離子體區形成橫向“磁瓶”場，對 帶電粒子形成三維封閉約束，并產生電子回旋共振所 需的磁場區域。由磁控管產生的微波能量直接耦合 到諧振腔中使反應室中的氣體離化形成等離子體。 對多種氣體包括反應氣體，能在一個大氣壓到2× 10-4Torr氣壓下產生微波等離子體。 【專利類型】發明申請 【申請人】四川大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】610064四川省成都市九眼橋 【申請人地區】中國 【申請人城市】成都市 【申請人區縣】武侯區 【申請號】CN90105790.8 【申請日】1990-03-23 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1055275A 【公開公告日】1991-10-09 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1028588C 【授權公告日】1995-05-24 【授權公告年份】1995.0 【IPC分類號】H05H1/46 【發明人】郭華聰 【主權項內容】1、一種微波等離子體的產生方法，當氣體進入反應室[4]中，氣體中的自由電子受到外強磁場的約束，輸入由磁控管[2]產生的微波能量后，電子在ECR共振區域產生電子回旋共振，并吸收微波能量使氣體離化形成微波等離子體，其特征是所說的外強磁場是由放置在諧振腔[3]和反應室[4]外面的一對永磁鐵產生的橫向“磁瓶”場，電子在“磁瓶”場兩端的ECR共振區[8]產生電子回流共振，所形成的微波等離子體被“磁瓶”場三維封閉地約束在反應室[4]的區域[9]中。 【當前權利人】四川大學 【當前專利權人地址】四川省成都市九眼橋 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】121000004000091949 【被引證次數】21.0 【被自引次數】3.0 【被他引次數】18.0 【家族被引證次數】21.0
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