【摘要】1.左視圖與右視圖對稱，省略左視圖。 2.俯視圖與仰視圖對稱，省略俯視圖。【專利類型】外觀設計【申請人】恩沛音響設備(上海)有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】201702上海市青浦區徐涇鎮滬青平公路2400號【申請人地區】中國
【摘要】 本發明是一種動態光柵刻劃機的自動調焦裝置， 涉及對光刻頭結構的改進。其特征在于光電探測頭 4固定在光刻頭8上，支架7與光刻頭8之間是彈性 連接，壓電陶瓷驅動器3通過一固定套6固定在支架 7上，擋塊9固定在光刻頭8的外殼上，并且頂著驅 動器3的端部。本發明結構簡單，首次解決了在光刻 中，因各種誤差引起的離焦問題，在±16.5μm的離焦 范圍內，其調焦精度為3σ≤±0.85μm，擴大了光刻 機的工作范圍，適于刻劃各種形狀或大尺寸的光柵尺 (板)，提高工效5～7倍。 【專利類型】實用新型 【申請人】中國科學院光電技術研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】610209四川省成都市雙流350信箱 【申請人地區】中國 【申請人城市】成都市 【申請人區縣】雙流區 【申請號】CN90214966.0 【申請日】1990-09-28 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2073595U 【公開公告日】1991-03-20 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2073595U 【授權公告日】1991-03-20 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】G03F7/207 【發明人】魏相惠; 楊勝豐; 葉寶珠 【主權項內容】1、涉及光刻頭和支架的，一種動態光柵刻劃機的自動調焦裝置，其特征在于：自動調焦裝置由光電探測頭和信號處理電路以及壓電陶瓷驅動器組成，其中，光電探測頭固定在與投影物鏡2同一位置的光刻頭8的外殼上，支架7與光刻頭8之間是彈性連接，壓電陶瓷驅動器3通過一固定套6固定在支架7的上方平直部分的一端，擋塊9固定在光刻頭8的外殼上，并且頂著壓電陶瓷驅動器3的端部。 馬 克 數 據 網 【當前權利人】中國科學院光電技術研究所 【當前專利權人地址】四川省成都市雙流350信箱 【統一社會信用代碼】12100000450811820A 【被引證次數】7.0 【被他引次數】7.0 【家族被引證次數】7.0
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