【摘要】全方位高強度防盜門鎖，是在鎖殼，鎖扣盒安裝 位置的上下兩邊加了翻邊(分別與鎖殼、鎖扣盒一 體)，并在門外固定鎖殼、鎖扣盒處加上了護板，使螺 栓穿透護板、門、鎖殼及鎖扣盒的翻邊，并擰上螺母， 將其緊固。另外附加一對門鉸鏈，并用以上相同
【摘要】 本發明涉及千法工藝用的大面積均勻可調永磁 磁路結構。本發明提供一種磁控反應離刻蝕機上施 加磁場的永磁磁路結構，該永磁磁路結構設于反應室 內直接構成磁場，由一對包括許多永磁磁鐵單元的極 板，一個軟鐵回路以及角鐵組成。通過調整可使硅片 刻蝕區形成均勻的強度可調的磁場。本發明磁路結 構簡單，可降低設備制造成本，提高精度，提高設備可 靠性和易操作性。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院微電子中心 【申請人類型】其他 【申請人地址】100010北京市650信箱 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】東城區 【申請號】CN90109813.2 【申請日】1990-12-19 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1052571A 【公開公告日】1991-06-26 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1017208B 【授權公告日】1992-06-24 【授權公告年份】1992.0 【IPC分類號】H01L21/306; B44C1/22; C03C15/00; C23F1/02; H01L21/02 【發明人】羅澎; 金鐘元; 韓階平; 馬俊如 【主權項內容】1、大面積均勻可調永磁磁路結構，其特征在于：在反應室1內的陰極2兩側設有多塊成排永磁磁鐵單元5與在該成排永磁磁鐵單元內側所加軟鐵板6組成的極板4，在該極板4外側設有由二個軟鐵回路縱長部分71、二個軟鐵回路水平部分72以及四個軟鐵回路斜角部分73組成非正八角形或上部呈圓弧形的軟鐵回路7，在兩塊對立的軟鐵板6二端內側分別設有角鐵或由軟鐵棒排成角狀結構8，當反應室1的直徑為280毫米時，陰極直徑為60～110毫米，極板4長度為140～165毫米，軟鐵回路水平部分72的長度為60～110毫米，體積為10×10×10毫米的永磁磁鐵單元5在每個極板4上為54塊。 【當前權利人】中國科學院微電子中心 【當前專利權人地址】北京市650信箱 【引證次數】1.0 【被引證次數】1.0 【他引次數】1.0 【被他引次數】1.0 【家族引證次數】1.0 【家族被引證次數】1.0
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