【摘要】本發(fā)明的智能謄影制版機(jī)，由電子計(jì)算機(jī)和謄影 機(jī)二部分，通過(guò)接口由電纜連接組合而成。具有編輯 排版自動(dòng)謄影制版和常規(guī)的謄影功能，利用本發(fā)明， 可以迅速得到經(jīng)過(guò)編輯排版，既有文字、又有插圖的 廉價(jià)的謄影制件。【專利類型】發(fā)明申請(qǐng)【申請(qǐng)人
【摘要】 一種控制直拉硅單晶中氮含量的方法，用99.99％以上的純氮作為保護(hù)氣體，采用分段控制爐內(nèi)氮?dú)鈮毫Γ貏e是熔硅階段的氮?dú)鈮毫?yán)格控制在266～1995Pa范圍內(nèi)，獲得硅單晶中氮含量為1.0×1014～7.0×1014/cm3，且保證該硅單晶的成品率達(dá)到80％以上。 百度搜索馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請(qǐng)人】浙江大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】310027浙江省杭州市玉泉 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】杭州市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】西湖區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89105564.9 【申請(qǐng)日】1989-08-10 【申請(qǐng)年份】1989 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1014727B 【公開(kāi)公告日】1991-11-13 【公開(kāi)公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1014727B 【授權(quán)公告日】1991-11-13 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】C30B29/06; C03B15/02; C30B27/02 【發(fā)明人】李立本; 張錦心; 闕端麟 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種控制直拉硅單晶中含氮量的方法，包括坩堝轉(zhuǎn)速為 6～10轉(zhuǎn)/分，坩堝內(nèi)硅多晶投料量為2～40kg，晶體轉(zhuǎn)速 為12～25轉(zhuǎn)/分，拉速為0.8～2.2毫米/分，晶體直徑2″ ～5″，以99.99％以上的純氮作為保護(hù)氣體，爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?為266～3990Pa，氮?dú)饬髁繛?.2～10m3/hr，制成氮 含量為1.0×1014～7.0×1014/cm3的硅單晶，其特征 在于： ——在熔硅階段，爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?66～1995Pa，流量 為0.2～4m3/hr； ——在拉晶階段，爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?660～3990Pa，流 量為0.8～10m3/hr； ——在拉晶結(jié)束階段，爐內(nèi)氮?dú)鈮毫?330～1995Pa， 流量為0.6～4m3/hr。 【當(dāng)前權(quán)利人】浙江大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】浙江省杭州市玉泉 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000470095016Q 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】2.0 【自引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】9.0
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